断熱リング リングやチューブにも対応
高い耐熱性と長寿命で環境にも配慮
断熱リングは半導体製造工程で使用される拡散炉、CVD装置などの高温断熱材として開発された製品です。
半導体製造装置、拡散炉などの高温断熱材に使用されています。
- ・炉内に装填する石英チューブおよび炭化珪素チューブの形状に合わせて加工可能です。
- ・石英ウールやシリカ製断熱材と比較して耐熱性が高く、シール性にも優れ石英チューブとも反応しにくい材料です。
- ・アルミナ繊維を使用している為、シリカ繊維と比較して長寿命となり、断熱材の交換頻度、および廃棄物の量を低減させることが可能です。
-
・御要望に応じて低不純物タイプと通常タイプの選択が可能です。
※低不純タイプは外皮材、内部充填材および縫糸に低不純物材料を使用しております。 - ・断熱リングの耐熱性は1200℃となります。
- ・従来、石英綿を充填していた箇所についてはパーティクルの発生を防ぐため、短冊状の充填材を提案しています。
- ・装填後の発煙トラブル防止のため全て焼成した製品を提供致します。
断熱リング材料構成
| 低不純物タイプ | 通常タイプ | |
|---|---|---|
| 外皮材 |
アルミナクロスBクロスHG-3025-T アルミナクロスBクロスHG-4018-D(厚手) |
アルミナクロスBクロス3025-T アルミナクロスBクロス4018-D(厚手) |
| 内部断熱材 |
セラミックファイバーブランケット セラミックファイバーボード セラミックファイバーボード硬化品 |
セラミックファイバーブランケット セラミックファイバーボード セラミックファイバーボード硬化品 |
| 縫糸 | アルマックスB縫糸 HG-T-5760D | アルマックスB縫糸 T-5760D |
| しばり紐 | アルマックスBスリーブ HG-SV-4 | アルマックスBスリーブ SV-4 |
アルマックスB(セラミック繊維)
耐熱、断熱から燃料電池などの最先端技術分野での使用に適しています。5種類の形状を用意しております。
| アルマックスB（低不純物品） | アルマックスB | ||
|---|---|---|---|
| 結晶相 | δ-アルミナ | δ-アルミナ | |
| 化学成分組成 | Al2O3 | 72% | 72% |
| SiO2 | 28% | 28% | |
| 繊維径 (μm) | 7 | 7 | |
| 密度 (g/cm3) | 2.9 | 2.9 | |
| 耐熱温度 (℃) | 1200 | 1200 | |
| 特長 | 低不純物 | 高強度・加工性良 | |
| 微量成分 (ppm) | Fe | 258 | 630 |
| Na | 18 | 1100 | |
| Ca | <1 | 180 | |
| P | <2 | <100 | |
| Cu | 4 | 65 | |
| K | <1 | 100 | |
| 形状 |
|
||
