窒化アルミ(AlN)
特長
- ①高熱伝導率
- ②耐熱衝撃性
- ③シリコンウェハーに近い熱膨張率
窒化アルミ特性表
| 品番 | MAN-090 | MAN-170 | MAN-230 | |
|---|---|---|---|---|
| 色 | grey | grey | grey | |
| 嵩密度 | g/cm3 | 3.20 | 3.20 | 3.30 |
| 曲げ強さ | MPa | 350 | 350 | 350 |
| 圧縮強さ | MPa | - | 3000 | - |
| ヤング率 | GPa | - | 320 | - |
| ポアソン比 | - | - | 0.27 | - |
| 硬度 | GPa | - | 14 | - |
| 破壊靭性 | MPa・m1/2 | - | - | - |
| 体積抵抗率[RT] | Ω・cm | >1015 | >1015 | >1015 |
| 熱膨張係数[RT] | ×10-6/℃ | - | - | - |
| 熱伝導率[RT] | W/(m・K) | 90 | 170 | 230 |
| 比熱[RT] | J/(g・K) | - | 0.7 | - |
| 耐熱衝撃性⊿T | ℃ | - | 400 | - |
| 特徴 | 焼結助剤レス 耐プラズマ向け |
通常品 | 高熱伝導率 |
