NEXCERA™（光学用ミラー）
NEXCERA™は低熱膨張ガラスと同等の熱膨張率且つ、剛性の高い材料です。
主に半導体製造装置、三次元測定機、望遠鏡等でミラーとして使用されております。
特長
- ●低膨張ガラスと同等の熱膨張率
- ●精密な鏡面加工が可能
- ●極めて高い安定性(熱的・経時的)
- ●軽量・高剛性
- ●自己拡散接合により、接合剤無しでの接合が可能
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薄肉リブ構造体
(リブ厚：3mm) - 蓋接合(自己拡散接合)＋精密鏡面加工
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ボックス構造体(ミラー)
Φ340×70mm -
平面度36nm < λ/10 -
面粗さ：Ra 0.36nm, PV 32nm
接合技術 自己拡散接合
- ・セラミックス同士を直接接触させたまま加圧下で加熱し，構成元素を拡散させて接合する方法です。
- ・接合剤無しで接合する事が可能です。
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薄肉リブ構造体
(リブ厚：3mm) - 蓋接合
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ボックス構造体(ミラー)
Φ340×70mm -
接合断面写真
NEXCERA™ 熱的安定性
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●熱サイクル
(RT ⇒ －20℃ (11h) ⇒ ＋60℃ (11h) ⇒ RT ) x 4回 -
●サンプル
NEXCERA™(N117B)ミラー／薄リブ接合構造
サンプルサイズ: φ340mm
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＜熱サイクル前＞平面度： 0.058μm -
＜熱サイクル後＞平面度： 0.060μm
温度サイクル前後での平面度変化は装置誤差内
また形状プロフィールもほとんど変化していない
熱サイクルによるヒステリシスが極めて小さい。
