酸化物エンジニアリングセラミックス

エンジニアリングセラミックスとは、セラミックスの特長である耐熱性、耐食性、硬度などを活かして構造材料的に用いられるファインセラミックスの総称です。
一般的な金属材料と比較して、軽量、高剛性であり、種々の環境下で優れた電気絶縁性を示します。
当社の酸化物系エンジニアリングセラミックスは、工業用、半導体用、電子デバイスなどの部品として、各分野で幅広く使用されています。

アルミナ

アルミナ

ファインセラミックスとして最も広く利用されている材料で、耐熱性、電気絶縁・耐磨耗性のバランスの取れた汎用的な高純度素材です。耐食性と、機械的な高強度、高硬度も有しております。

耐熱性を活かした高温炉用部材、絶縁性を活かした碍子、機械的強度を活かした産業機器における各部品や、半導体製造装置、液晶製造装置に搭載される高精度な大型部材など、多岐な分野において幅広く利用されております。

ジルコニア

ジルコニア

ファインセラミックスの中で常温では最も高い靱性と強度をもった材料です。
その機械的強度と優れた耐摩耗性により、ガイドローラーのような摺動用部材や耐摩耗部品として使われています。
高い靱性を活かして、各種刃物(ハサミやカッターなど)にも利用されています。

画像認識用の耐摩耗部品として、黒色タイプ(MZR-K)もございます。

L-TEX

L-TEX

低熱膨張性を持ち、高い耐熱性と、ヒートショックに強い性質を持った材料です。
機械的強度も持ち合わせているため、荷重がかかる高温環境下でも使用が可能です。
急温急冷環境で使用される絶縁部品や、ヒーターボビンなどの高温での使用を目的とした部品としてご利用いただけます。

各材料の物性表

名称 アルミナ ジルコニア L-TEX
品番 A115 A118
(旧MA995)
AB117 MZR L-TEX
組成 Al2O3 99.5% Al2O3 99.7% Al2O3 ZrO2 -
ivory ivory black white light grey
嵩密度 g/cm3 3.85 3.90 3.90 6.00 2.70
吸水率 % 0 0 0 0 0
曲げ強さ MPa 340 340 440 1100 150
圧縮強さ MPa - 2900 - 3000 -
ヤング率 GPa 380 350 390 210 -
ポアソン比 - 0.23 0.23 0.23 0.32 -
硬度 GPa 13.7 15 15.2 13 -
破壊靭性 MPa・m1/2 4.0 4.7 3.4 5.5 -
体積抵抗率[RT] Ω・cm >1015 >1015 - - >1013
比誘電率[1MHz] - 9.9 10 - - 6.5
誘電正接[1MHz] - 0.003 0.005 - - -
絶縁破壊電圧 kV/mm - 10 - - 10
熱膨張係数[RT] ×10-6/℃ 5.3 - 5.3 - -
熱膨張係数[RT-400℃] ×10-6/℃ - 7 - 10 3.1
熱膨張係数[RT-800℃] ×10-6/℃ - 7.9 - 10.3 4.0
熱伝導率[RT] W/(m・K) 23 30 24 3 1.2
比熱[RT] J/(g・K) - 0.8 0.73 0.5 -
耐熱衝撃性⊿T - 200 - 250 350

※記載したデータは代表値であり、保証値ではありません。

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