AlNホットプレート
当社の窒化アルミニウム製ホットプレートは、焼結したセラミックスに発熱パターンを印刷～焼成する事で発熱体としています。
発熱パターンの材質により、広い温度範囲での対応も可能です。
給電端子部分も発熱パターンと同程度の耐熱性を有しており、端子部を保護する為の特別な措置も必要もありません。
基本構成
絶縁被覆
| 膜厚 | 10～20μm |
|---|---|
| 絶縁耐圧 | ≧1000V/25μm |
| 最高使用温度 | 450℃前後 |
発熱体
| 印刷膜厚 | 10～20μm |
|---|---|
| 固有抵抗値 | 35～475μΩcm |
| 最高使用温度 | 600℃前後 |
基板
| 材質 | AlN(窒化アルミニウム) |
|---|---|
| 熱伝導率 | 170W/m・K(RT) |
| 線膨張係数 | 4.5×10-6/℃ |
| 製造可能最大寸法 | φ450mm |
特長
- 省エネルギー
- 発熱体の電気抵抗率が任意調整できるため、低温域～高温域まで用途に合わせたヒーター出力の設計が可能。
- 均一な温度分布
- セラミックの材料特性＋広範囲な温度適応性。
- ニーズに応じた設計
- お客様の要望にあわせて、最適な設計仕様を提案可能
- 幅広い温度体に対応可能
- 最高使用温度は450℃。それ以上の温度帯での検討は、ご相談ください。
