静電チャック
半導体製造の真空プロセスにおいて、ウェハを固定, 搬送, 矯正するために、静電チャックが使用されています。
当社のJohnsen-Rahbek型静電チャックは、独自の材料技術と加工技術により、高い評価をいただいています。
特長
- 優れた着脱応答性
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材料組織を最適化することで、極めて優れた着脱応答性を発揮します。
これにより、スループットの大幅な向上に貢献できます。 - 優れた平面性
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独自のポリッシング技術により、全面にわたり高精度な平面度が得られます。
また、優れた面粗度を実現できるため、高い吸着力とパーティクル量の低減が可能です。 - 高い耐久性
- 誘電体, 内部電極, 絶縁体を一体焼成しているため、接着材により一体化した静電チャックと比較し、経時的な安定性に優れています。
物性表
| 材質 | Al2O3(TiO2添加) | |
|---|---|---|
| 比重 | - | 3.98 |
| ヤング率 | GPa | 400 |
| ポアゾン比 | - | 0.24 |
| 破壊靭性値 | MPa・m1/2 | 4.6 |
| ビッカース硬度 | 98N,GPa | 14 |
| 比誘電率 | - | 10.7 |
※記載したデータは代表値であり、保証値ではありません。
製品データ(参考値)
- ・印加電圧：＋300V / －300V
- ・吸脱着時間：3秒以下
- ・吸着力：706N(φ300mm、ピン部表面積0.75%として)
※記載したデータは代表値であり、保証値ではありません。
