静電チャック

半導体製造の真空プロセスにおいて、ウェハ, ガラス基板等を固定, 搬送, 矯正するために、静電チャックが使用されています。
当社のJohnsen-Rahbek型静電チャックは、独自の材料技術と加工技術により、高い評価をいただいています。

特長

優れた着脱応答性
材料組織を最適化することで、極めて優れた着脱応答性を発揮します。
これにより、スループットの大幅な向上に貢献できます。
優れた平面性
独自のポリッシング技術により、全面にわたり高精度な平面度が得られます。
また、優れた面粗度を実現できるため、高い吸着力とパーティクル量の低減が可能です。
高い耐久性
誘電体, 内部電極, 絶縁体を一体焼成しているため、接着材により一体化した静電チャックと比較し、経時的な安定性に優れています。

物性表

材質 Al2O3(TiO2添加)
比重 - 3.98
ヤング率 GPa 400
ポアゾン比 - 0.24
破壊靭性値 MPa・m1/2 4.6
ビッカース硬度 98N,GPa 14
比誘電率 - 10.7

※記載したデータは代表値であり、保証値ではありません。

製品データ(参考値)

  • ・印加電圧:+300V / -300V
  • ・吸脱着時間:3秒以下
  • ・吸着力:706N(φ300mm、ピン部表面積0.75%として)

※記載したデータは代表値であり、保証値ではありません。

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