エアステージ
多くの製作実績に裏付けされた優れた設計・製造・評価技術により、高速・高精度で再現性に優れた位置決めを実現します。
特長
- ・非接触のため摩擦抵抗が極めて小さく、高速・高精度な位置決めが可能です。
- ・平均化効果によりガイド・テーブル表面の影響を受けにくく、高い直進性が得られます。
- ・高い再現性があります。
- ・非接触支持のため、長寿命・メンテナンスフリーで発塵がなくクリーンです。
製作事例
NEXCERA™製 エアステージ
- 熱ドリフトの低減
- 超低熱膨張材料NEXCERA™を使用することにより、熱源となるリニアモーターやセンサーなどの影響下においても、正確な動作が可能です。
- 優れた繰り返し運動精度
- 高精度な加工により、優れた直進性、繰り返し安定性を実現しています。
-
ヨーイング (真空方式リニア有り) -
真空プリロード方式 -
ピッチング (真空方式リニア有り)
| ステージ外寸 | mm | 410×300×158 | |
|---|---|---|---|
| 制御ストローク | mm | 100 | |
| 供給エア圧力 | MPa | 0.4 | |
| 真空圧力 | kPa | 65 | |
| 運動真直度 | nm/100mm | ヨーイング | 13 |
| ピッチング | 9 | ||
| ベアリング剛性 | N/μm | 水平方向 | 350 |
| 縦方向 | 200 |
※記載したデータは代表値であり、保証値ではありません。
