ファインセラミックス

素材別

超低熱膨張セラミックス

NEXCERA™
NEXCERA™はコーディエライト(2MgO-2Al2O3-5SiO2)セラミックスをベースとした超低熱膨張セラミックスです。特長として室温近傍でゼロ膨張を示し、低熱膨張ガラスに比べ高強度・高剛性な材料です。これまでに実現できなかった複雑形状を付与することが可能です。

製品概要

非酸化物エンジニアリングセラミックス

サイアロン
サイアロン
窒化ケイ素系のセラミックスで、高温下で強度が高く、室温では鉄の1/10の熱膨張を示す材料です。
製品概要
炭化ケイ素
炭化ケイ素
軽量、高剛性に加え、高い熱伝導率、電気伝導度を持ち、高温で高いクリープ抵抗を示す材料です。
製品概要
炭化ホウ素
炭化ホウ素
ダイヤモンドやc-BNに次ぐ高い高度を有します。非常に高い剛性および高い耐磨耗性を持つ材料です。
製品概要
窒化アルミ
窒化アルミ
熱伝導性、耐熱衝撃性、電気絶縁性に優れ、シリコンに近い熱膨張を持つ材料です。
製品概要

酸化物エンジニアリングセラミックス

アルミナ
アルミナ
強度・電気絶縁・耐磨耗性と非常にバランスの取れた汎用的な高純度材料です。
製品概要
ジルコニア
ジルコニア
セラミックスの中で最も靭性が高く、高強度の材料で耐磨耗性に優れています。
製品概要
L-TEX
L-TEX
低熱膨張、低熱伝導であり、熱衝撃にも強い材料です。
製品概要

マシナブルセラミックス

マセライトシリーズ
マセライトシリーズ
機械加工性に優れたセラミックスです。少量多品種に適しているため、試作品・研究開発品に短納期対応可能です。
ラインナップ
マセライトET
マセライトSP
マセライトHSP
マセライトBT
マセライトPN
マセライトCE
製品概要
窒化ホウ素系、
窒化アルミ系、多孔質
非酸化物系ではボロンナイトライドなどのマシナブルセラミックスを取り揃えております。
ラインナップ
BN N-1
BN HC
SBN
シェイパルHiMソフト
マシナックス
アルマタイト
製品概要

応用製品

測定機用基準器
NEXCERA™の形状安定性を利用した測定機器校正用基準器です。
光学用ミラー
NEXCERA™は鏡面加工ができ、低熱膨張および高い経年安定性・熱的安定性の特長を生かし、光学用ミラーへの適用が可能です。
静電チャック
当社独自の材料技術と加工技術で製造するファインセラミックス製静電チャックです。
真空吸着チャック
基板や薄膜フィルムなどを真空吸着する多孔質セラミックス吸着盤です。
プローブカード用微細穴加工製品
半導体検査装置等向け部品として、マシナブルセラミックスへ高精度な穴径および穴位置加工をいたします。
エアステージ
豊富な実績に基づき、エアステージの構造設計、製造および機能検査をいたします。
超音波振動子用整合材
超音波振動子用の整合材向けの各種セラミックス材料を取り揃えております。
  • 基準器
    基準器
  • 光学用ミラー
    光学用ミラー
  • 真空吸着チャック
    真空吸着チャック
  • 静電チャック
    静電チャック

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