ホットプレート

超薄型マイカヒーターの両面を熱伝導の良い金属板などで挟み込むシンプルな構成となっておりますので、ヒーター交換等のメンテナンスが容易です。その為、長期間ご使用になる事が出来ます。

また、廃棄の際にも簡単に分解できますのでリサイクル性能に優れます。

使用している全ての部品はリサイクル可能ですので環境への影響を与えません。
(※一部特殊仕様を除く)

基本構成

特長

独自のヒーター導入端子の開発でプレート表面温度分布を確保
当社が独自に開発したヒーター導入端子取付方法により、導入端子の位置が自由に変更出来ます。(実用新案登録済)
超薄型マイカヒーターの持つ優れたプレートへの密着性および独自の最適拘束条件により、厳密な温度分布を可能にしました。
優れた熱応答性
電力密度6W/cm2(at200℃)までの適用が可能であり、また温度分布を満足した上でホットプレートを最大限薄くしておりますので、高速昇温が可能です。
ガスの発生が少ない
マイカヒーター製造工程における特殊処理によりガス発生を防止しており、操業時に処理物への影響を与えません。
厳しい温度分布条件への対応
内部発熱体の設計にあたり、ホットプレート形状・材質・厚みなどの変化に伴うプレート表面の温度分布をシュミレーションし最適な温度性能を保証致します。

昇温特性


※大気解放時のホットプレート表面の昇温特性を示します。

熱寿命特性


※使用温度条件における寿命値を示します。ヒーター拘束条件によっては寿命が短くなる事がありますのでご注意下さい。

用途

  • 半導体、液晶製造装置(コーター、オーブン、デベロッパなど)
  • 熱プレス、各種試験装置など

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