マセライトシリーズ
当社独自のマシナブルセラミックス（機械加工性に優れたセラミックス）です。
マイカ(雲母)系のマセライトET、SP、HSPや窒化ホウ素系のマセライトPNがあります。
その優れた加工性で複雑な形状やミクロンオーダーの微細加工を実現いたします。
マセライトET
熱衝撃に強く、低熱膨張を特徴とした材料です。
白色度が高く、光反射特性に優れておりYAGレーザーをはじめとする各種反射板として利用されています。
マセライトSP
マセライトシリーズの低価格・汎用グレードです。大型形状にも対応可能です。
マセライトHSP
マセライトSPにHIP処理を行った材料です。ポアレスのため微細加工に適しています。
マセライトPN
高強度を有しながら微細な加工にも適した材料です。低熱膨張でシリコンに近い熱膨張を有します。
各材料の物性表
| 名称 | マセライトET | マセライトSP | マセライトHSP | マセライトPN | |
|---|---|---|---|---|---|
| 組成 | フッ素金雲母 | フッ素金雲母 | フッ素金雲母 | 窒化ホウ素+α | |
| 色 | white | ivory | ivory | grey | |
| 嵩密度 | g/cm3 | 2.46 | 2.50 | 2.67 | 3.10 |
| 吸水率 | % | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 曲げ強さ | MPa | 140 | 110 | 160 | 290 |
| 圧縮強さ | MPa | - | 430 | 440 | - |
| ヤング率 | GPa | 61 | 64 | 65 | 120 |
| 硬度 | GPa | 2.6 | 2.2 | 2.2 | 1.7 |
| 体積抵抗率[RT] | Ω・cm | >1014 | >1015 | >1015 | >1014 |
| 比誘電率[RT] | 6 | 6 | 6.5 | 7 | |
| 絶縁破壊電圧 | kV/mm | 10 | 10 | 10 | 10 |
| 熱膨張係数[RT-200℃] | X10-6/℃ | 5.8 | 9.2 | 9.8 | 4.2 |
| 熱伝導率 | W/(m・K) | 1.4 | 1.6 | 1.6 | - |
| 耐熱衝撃性⊿T | ℃ | 350 | 150 | 175 | 650 |
※記載したデータは代表値であり、保証値ではありません。
