マセライトシリーズ

当社独自のマシナブルセラミックス(機械加工性に優れたセラミックス)です。
マイカ(雲母)系のマセライトET、SP、HSP、BTや窒化ホウ素系のマセライトPNがあります。
その優れた加工性で複雑な形状やミクロンオーダーの微細加工を実現いたします。

マセライトET

熱衝撃に強く、低熱膨張を特徴とした材料です。
白色度が高く、光反射特性に優れておりYAGレーザーをはじめとする各種反射板として利用されています。

マセライトSP

マセライトシリーズの低価格・汎用グレードです。大型形状にも対応可能です。

マセライトHSP

マセライトSPにHIP処理を行った材料です。ポアレスのため微細加工に適しています。

マセライトBT

低熱膨張であり微細加工が可能な材料です。

マセライトPN

高強度を有しながら微細な加工にも適した材料です。低熱膨張でシリコンに近い熱膨張を有します。

各材料の物性表

名称 マセライトET マセライトSP マセライトHSP マセライトBT マセライトPN
組成 フッ素金雲母 フッ素金雲母 フッ素金雲母 フッ素金雲母 窒化ホウ素+α
white ivory ivory brown grey
嵩密度 g/cm3 2.46 2.50 2.67 2.47 3.10
吸水率 % 0 0 0 0 0
曲げ強さ MPa 140 110 160 150 290
圧縮強さ MPa - 430 440 - -
ヤング率 GPa 61 64 65 73 120
硬度 GPa 2.6 2.2 2.2 - 1.7
体積抵抗率[RT] Ω・cm >1014 >1015 >1015 >1014 >1014
比誘電率[RT] 6 6 6.5 7.2 7
絶縁破壊電圧 kV/mm 10 10 10 10 10
熱膨張係数[RT-200℃] X10-6/℃ 5.8 9.2 9.8 4.5 4.2
熱伝導率 W/(m・K) 1.4 1.6 1.6 - -
耐熱衝撃性⊿T 350 150 175 - 650

※記載したデータは代表値であり、保証値ではありません。

素材物性一覧表はこちら

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