ファインセラミックス
素材別
- NEXCERA™
- NEXCERA™はコーディエライト(2MgO-2Al2O3-5SiO2)セラミックスをベースとした超低熱膨張セラミックスです。特長として室温近傍でゼロ膨張を示し、低熱膨張ガラスに比べ高強度・高剛性な材料です。これまでに実現できなかった複雑形状を付与することが可能です。
応用製品
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基準器 -
光学用ミラー -
真空吸着チャック -
静電チャック